第101章 全球第一台第六代光刻机

“你们别自己弄了。”

“现在光学元件已经出来，改进光学系统这个事，我来做吧。”

“高分辨率的反馈系统，麻烦张工你来负责完成。”

“王老师，你去车间，使用主动抗振动技术以及环境监测和反...